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产酸剂PAG 103
2024-10-28
产品详情
- 产地 武汉欣欣佳丽生物科技有限公司
- Cas：852246-55-0
- 产品名称产酸剂PAG 103
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- 简介
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光致产酸剂PAG是半导体光刻胶（KrF、ArF）最核心的主材，对深紫外光源具有良好的光学敏感性，同时具有高对比度，对高分辨率等优点。当光刻胶被曝光后，曝光区域的光致产酸剂将会产生一种酸，这种酸在后热烘培工序期间作为催化剂，将会移除树脂的保护基团从而使得树脂变得易于溶解。
中文名称：
产酸剂PAG 103
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英文名称：
2-methyl-α-[2-[[(propylsulfonyl)oxy]imino]-3(2H)-thienylidene]-Benzeneacetonitrile
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CAS：852246-55-0
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其它信息：纯度：99.5 HPLC | 包装信息：5克；10克；50克；100克；250克；500克；1公斤；10公斤； | 备注：试剂纯
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中文名称：
产酸剂PAG 103
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英文名称：
2-methyl-α-[2-[[(propylsulfonyl)oxy]imino]-3(2H)-thienylidene]-Benzeneacetonitrile
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CAS：852246-55-0
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其它信息：纯度：99.5 HPLC | 包装信息：5克；10克；50克；100克；250克；500克；1公斤；10公斤； | 备注：试剂纯
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